大连工业大学实验仪器中心

扫描电子显微镜

来源：分析测试中心发布时间：2013-11-12

生产厂家：日本电子公司

仪器型号：JSM-6460LV （配有英国牛津仪器公司X-Max50能谱仪）

仪器性能指标：

        1.分辨率：
                   二次电子像：3.0 nm
                  背散射电子像：4.0 nm
        2.放大倍数：8～300000倍
        3.最高加速电压：30 kV
        4.真空模式：具有低真空模式，低真空度1～270Pa，高、低真空切换
能谱仪：OXFORD INCA
        1.分辨率：127 eV
        2.元素分析范围：Be4～U92

主要应用：扫描电镜与能谱仪结合，主要用于固体材料表面形貌观察和化学成分分析，应用范围主要包括化工、材料、生物医药、医学、轻纺、矿物、冶金、精密制造等领域。

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